01。持榄及截片台相 2.电组 03。持模板真空吸片开关04。显微镜“亮度”调节旋 5吸铁心装置及心指示06，系灯流器箱 07,双目显微镜组 09.显微镜焦距调节提组 09.是光时问控制器 10。吸陆片及真空理光开关 11.基座组 12.光刻机操作台 光刻机操作程序说明： (1)光刻机电源接通后，总电源开关“开”，主机工作指示灯 “亮”，汞灯整流器电源接通后，开关“开”，200W超高压球形汞 灯“亮”。15分钟后，待汞灯发出的光谱稳定后，在承片台的掩模 板上，放置照度计的“探头”，光源能量为Tmw以上，光照度的不均 匀性小于5%，上述两项要求在出厂前已经调整好。光照度的不均匀 性还可借助光源调整手轮X、Y、Z(曝光汞灯散热器两侧)来实现。 (②)旋转承片台Z向带柄手轮，承片轴沿Z向下降至极限位置时， 升降指示灯“亮”，并将Z向微分离手轮（亿向带柄旋钮前下端）调整 至“0”位，此时掩模装夹板可以向左侧移出。 (3)掩模清洁后，放置于掩模装夹板上，并将掩模的真空吸片阀 光刻机操作程序说明： (1)光刻机电源接通后，总电源开关“开”，主机工作指示灯 “亮”，汞灯整流器电源接通后，开关“开”，200W 超高压球形汞 灯“亮”。15 分钟后，待汞灯发出的光谱稳定后，在承片台的掩模 板上，放置照度计的“探头”，光源能量为 7mw 以上，光照度的不均 匀性小于 5％，上述两项要求在出厂前已经调整好。光照度的不均匀 性还可借助光源调整手轮 X、Y、Z(曝光汞灯散热器两侧)来实现。 (2)旋转承片台Z向带柄手轮，承片轴沿Z向下降至极限位置时， 升降指示灯“亮”，并将 Z 向微分离手轮(Z 向带柄旋钮前下端)调整 至“0"位，此时掩模装夹板可以向左侧移出。 (3)掩模清洁后，放置于掩模装夹板上，并将掩模的真空吸片阀