块体样品制成TEM样品 由块体样品制成薄膜试样一般需要经历以下三个步骤： 利用砂轮片、金属丝或用电火花切割方法切取厚度小于0.5 mm 的“薄块”；对于陶瓷等绝缘体则需用金刚石砂轮片切割。 ·用金相砂纸研磨或采取化学抛光方法，把薄块预减薄到0.05mm ~0.1mm左右的薄片。 •用电解抛光、离子减薄等方法进行最终减薄，在孔洞边缘获得 厚度小于200-500nm的“薄膜”。 15由块体样品制成薄膜试样一般需要经历以下三个步骤： •利用砂轮片、金属丝或用电火花切割方法切取厚度小于0.5 mm 的“薄块”；对于陶瓷等绝缘体则需用金刚石砂轮片切割。 •用金相砂纸研磨或采取化学抛光方法，把薄块预减薄到0.05mm ～0.1 mm左右的薄片。 •用电解抛光、离子减薄等方法进行最终减薄，在孔洞边缘获得 厚度小于200-500 nm的“薄膜” 。 15 块体样品制成TEM样品