中国科学枝术大学物理系微电子专业 1、金半接触的类型 金属-半导体结分为两种类型 具有整流作用的肖特基结和非整流低电阻的欧姆结 肖特基结：又称为肖特基势垒接触。1938年， 肖特基提出，半导体内稳定的空间电荷形成的势垒 可能有整流作用。由此产生的势垒模型就是所谓肖 特基势垒。金属半导体形成的具有整流效应的结称 为肖特基结 欧姆结：又称为欧姆接触 金属半导体接触也可能是非整流性的，即不管所加电 压极性如何，接触电阻均可忽略，这种金属半导体 接触称为欧姆接触。为实现电子系统中的相互连接， 所有半导体器件和集成电路都必须有欧姆接触。 Principle of Semiconductor Devices 2023/5/15 4中国科学技术大学物理系微电子专业 • 金属-半导体结分为两种类型： 具有整流作用的肖特基结和非整流低电阻的欧姆结。 • 肖特基结：又称为肖特基势垒接触。1938年， 肖特基提出，半导体内稳定的空间电荷形成的势垒 可能有整流作用。由此产生的势垒模型就是所谓肖 特基势垒。金属半导体形成的具有整流效应的结称 为肖特基结。 • 欧姆结：又称为欧姆接触。 金属半导体接触也可能是非整流性的, 即不管所加电 压极性如何，接触电阻均可忽略，这种金属半导体 接触称为欧姆接触。为实现电子系统中的相互连接， 所有半导体器件和集成电路都必须有欧姆接触。 2023/5/15 Monday 4 1、金半接触的类型 Principle of Semiconductor Devices