3.2.2、真空(Vacuum)的产生 真空通常使用各种类型的真空泵及其组合来产生。 常用真空泵及其工作范围： Pump p(torr) Rotary vane/Mechanical机械泵 1000-103 SorptionOF吸附泵 1000-103 Oil vapor diffusion*扩散泵 10-3-1010 Turbomolecular*(oF)分子泵 1031010 Sputter/IonOF离子泵 104.1011 Sublimation/GetterOF升华泵 10-810-11 *需要前级真空泵oF"clean" 中园辩学技术大学3.2.2、真空(Vacuum)的产生 Pump p (torr) Rotary vane/Mechanical 机械泵 1000-10-3 SorptionOF 吸附泵 1000-10-3 Oil vapor diffusion* 扩散泵 10-3 -10-10 Turbomolecular*(OF) 分子泵 10-3 -10-10 Sputter/IonOF 离子泵 10-4 -10-11 Sublimation/GetterOF 升华泵 10-8 -10-11 常用真空泵及其工作范围: * 需要前级真空泵 OF "clean" 真空通常使用各种类型的真空泵及其组合来产生