CVD TiN涂层厚度一般在3~10um,若模具尺寸超过20mm,那么涂层厚度与热处理 引起的基体尺寸变化相比可以忽略不计，尤其是工件尺寸较大时更是如此。因此，若模具尺 寸小于100mm,公差为±0.02mm时，用CVD法涂复TiN能满足尺寸要求。若公差再小， 则可在非工作面留出加工余量或采用先热处理再涂复的办法来减小尺寸变化的影响')。 3结 论 (1)温度对TiN沉积速率的影响表现为：温度低于1000°C为化学反应控制，表观活化 能为234.5kJ/mol,高于1000°C为扩散控制，表观话化能为54.4kJ/mol。 (2)涂层硬度随温度升高而增加，高于975°C,随温度升高而下降。基体硬度与温度也 有类似关系。在950~1000°C淬火，基体硬度(HRc)为64~67；回火后为60.5~62.5。最 佳沉积温度与理想淬火温度是一致的。 (3)在95)~1030°C沉积TiY9)mi1,并接着淬火和180~240°C下回火，基体尺寸 变化为方分之五，可以满足一般模具尺寸的要求。 致谢：龙民、李聪贤、任志华和刘莉莉同志参加了部分试验：我院物构中心为试样在做了分析，在此表示感谢。 参考文献 1 Inzenhofer A.Fashberichte Huttenpraxis Metallweiterarbeitung,1984; (9):819 2 Oldewurtel A,et al.Wi-Z Fertig,1985;(5):299 3 Broszei E,et al.Z.Werksfofftech.1980;(11):31 4 Chatterjee-Fischer R.HTM,1986;(3):113 5 Sundgren J E.Thin Solid Films,1985;(1):21 6佐藤忠雄。模具材料及其热处理，机械工业出版社，1982 7 Hegi R.Metalloberflache,1983;(4):166 73涂层厚度 一般 在 一 。 拼 ， 若模 具尺寸超过 ， 那 么涂层厚 度与热处理 引 起 的基体尺 寸 变化相 比可以 忽 略不计 ， 尤其是工 件尺 寸较大 时更是如此 。 因此 ， 若模具尺 寸 小于 ， 公 差 为 土 时 ， 用 法 涂 复 能 满 足尺寸 要求 。 若 公差再小 ， 则可在非 工 作 面 留出加 工 余 量或采 用先热 处 理再 徐 复 的办 法 来减小 尺 寸变化 的 影 响 〔 ’ 〕 。 结 论 温 度对 沉积速率 的影响 表现 为 温 度低于 。 。 。 “ 为化 学 反应 控制 ， 表观 活化 能 为 ’ ， 高于 为扩 散 控制 ， 表观 活化能 为 。 涂 层 硬 度随温 度 升高而增加 ， 高于 了 ， 随温 度升 高而 下降 。 基体硬 度与温 度也 有 类 似关 系 。 在 一 。 。 淬火 ， 基体硬 度 为 一 回火后 为 。 一 。 最 佳沉积温 度与理 想 淬火 温 度是一致 的 。 在 。 一 。 。 “ 沉 积 ， 并接 着淬 火 和 一 一 “ 下 回 火 ， 基体 尺 寸 变 化 为万 分 之 五 ， 可 以 满 足一 般模 具尺寸 的要求 。 致 谢 龙 民 、 李聪 贤 、 任 志 华 和 刘莉 莉 同志 参 加 了部 分 试 验 我院 物构 中心 为试 样 在做 了分 析 ， 在此表 示感谢 。 参 考 文 献 。 乙 ‘ 万 “ 工 ‘ 万 田 ‘ “ ， ， 平 一 ‘ ， ， 。 。 牙 寿 。 一 。 勿 ， ， 佐 藤忠 雄 模具材料 及其热 处 理 ， 机 械工业 出版社 ， 对