2.3沉积温度对基体硬度的影响 CVD TiN涂复的模具的硬度，除与表面涂复TiN的结品和成份有关外，也与基体在 涂复前后硬度有关。基体的硬度取决于作为基体材料的组织变化。为此，涂复后，基体需要 进行淬火和回火处理。C12MoV是一种高铬合金工具钢，它的谇透性好，变形小，硬度 高，耐磨，比较适合于冷作模具。该钢种在低于1000°C下淬火，其硬度随淬火温度升高而 上升，超过1000°C则反之，若在1025°C保温6h淬火，其硬度仍可达到HRc631。 图4是在N2保护下谇火得到的结果。可以看到在900~1000°C沉积90mn后接着谇 火，基休的硬度随沉积温度的升高而增加。在950°C和975°C时淬火，基体硬度(HRc)为 54和66，经200°C回火后其硬度为60.5和62，若在1000°C谇火，200°C问火，基体硬 度为62.5。该硬度值能满足模具的要求。 950 9.0 5.0 900 8.0 0 鼍 850 AL/L 6 6 7.0 5.0 800 750 6.0 dd/d -10.0 3 700 5.0 15.0 巴 900 9259509751000 Temperature,C 9009501000 Quenching temperature,'C 图4基体硬度与神火和回火温度关系 图5淬火温度对基体长度和直径的影响 Fig.4 Dependence of substate hardncss Fig.5 Effect of quenching temeprature on quenching temperature and on the relative change in length tempering temperature and in diameter of substrate 2.4沉积温度对基体尺寸的影响 8.0 tempering temp. 在模具表面上：沉积儿微米的TN范膜， 对一般模具来说并不影响它的使用、但经热处 6.0 理后基体尺寸的变化却不能忽略，再加上经涂 复的基体不能进行机加工，因此研究温度对基 4.0 体尺寸变化的影响是很重要的。图5和图6是 180℃ 2.0 淬火和问火温度对基体长度和直径的影响。由 240℃b 图看出，温度对基体长度的影响比对直径的影 9009501000 响大。基体尺寸的变化：要取决于奥氏体化 Quenching temperatuer,C (即淬火)温度和回火温度。实验结果表明， 图6基体尺寸变化与浒火和回火温度的关系 Fig.6 Dependence of dimensional of 基体在950~1000°C沉积/淬火，并于180~ substrate on quenching and te- 240°C可火，Cr12MoV的尺寸变化小于万分 mpering temperature 之五。 72。 沉积温 度 对基体 硬度 的影 响 涂 复的 模具的 硬 度 ， 除 与表面涂 复 的结 晶和 成 份有关 外 ， 也 与 基 体 在 涂 复前后硬 度 有关 。 基体 的硬 度 取 决 于 作 为基体材料 的组织变化 。 为 此 ， 涂 复后 ， 基 体需要 进行 淬火 和 回火处 理 。 是 一 种 高铬 合金 工具钢 ， 它 的 淬 透 性 好 ， 变 形 小 ， 硬 度 高 ， 耐 磨 ， 比较 适合于冷 作 模具 。 该 钢种 在 低于 下 淬火 ， 其硬 度 随 淬火 温 度升 高 而 上 升 超 过 “ 则反之 ， 若在 保温 淬火 ， 其硬 度仍可达 到 「” 〕 。 图 是 在 保护 下 淬火得 到的结果 。 可 以看 到在 一 沉积 后 接 着 淬 火 ， 基体 的硬 度随沉 积温度 的 升 高 而增加 。 在 和 ’ 时 淬火 ， 基 体 硬 度 为 和 ， 经 回火后 其 硬 度为 和 ， 若在 淬火 ， 回 火 ， 基 体 硬 度为 。 该 硬 度值 能 满 足模 具的要 求 。 ，挑 二一︺。加匀。侧‘ 一祠名目 、勺 召 尸 一 【 竹叮 一 佗心 。 戈 神洲户 巨 产 产 牙了 口 ℃ 。 二 曾 ， 三 匕 。 喊 口 瞥 泛 里 ，闷 乞 ， 宙 》 三 国 人… 口 了 ， 曰︻、 卜 一 。 一 。 二勺︸二叭。﹄口。﹄ ， ， 图 墓体硬 度 与淬火 和回 火 沮 度关 系 图 淬火温 度对 簇 体长 度 和 直径 的影响 。 沉积 温 度对基体尺寸 的影响 一 澎 肠， 、习拓 七 。 图 ，’ 揍 休尺 寸变化 与 淬火 和 回 火 温 度 的 关 系 ， 在 模 具表 面土 沉积 儿 微 米 的 蒲 膜 ， 对 一 般模 具来 说并不影 响它 的使 用 但经 热 处 理后基体尺 寸 的变化 却 不 能 忽 略 ， 再 加 上经涂 复的基体不 能进行机加 工 ， 因此研究温度 对基 体尺 寸 变化 的影响是很 重 要 的 。 图 和 图 是 淬火 和 回火温度对 基 体长度 和直 径的影 响 。 由 图看 出 ， 温 度对墓体 一 长度的影响 比对 直 径 的影 响大 。 基 体尺 寸 的变化 要 取 决于 奥 氏 体 化 即淬 火 温度和 回火 温 度 。 实验结果 表 明 ， 基体在 一 沉积 淬火 ， 少冬于 一 “ 回 火 一 人 的 丈寸变化 小于 万 分 之五 。 ，，、曰， 国工铀﹃二石一︺，司。加‘