2)箔式应变片 该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在0.003-0.01mm之间, 它的结构如图2.1.1b所示。箔式应变片与丝式应变片比较其面积大,散热性好,允许通过 较大的电流。由于它的厚度薄,因此具有较好的可绕性,灵敏度系数较高。箔式应变片 还可以根据需要制成任意形状,适合批量生 3)金属薄膜应变片 它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法,在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜 以形成应变片。这种应变片有较髙的灵敏度系数,允许电流密度大,工作温度范围较广。 212.2半导体应变片 半导体应变片是利用半 导体材料的压阻效应而制成 的一种纯电阻性元件。 对一块半导体材料的某 轴向施加一定的载荷而产 生应力时,它的电阻率会发a)丝式 b)箔式 生变化,这种物理现象称为 半导体的压阻效应 图2.1.1金属电阻应变片结构 图2.1.2体型半导体应变片 半导体应变片有以下几种类型: 1)体型半导体应变片 这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基 片上而成的应变片,其结构如图2.1.2所示。2) 箔式应变片 该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在0.003-0.01mm之间， 它的结构如图2.1.1b所示。箔式应变片与丝式应变片比较其面积大，散热性好，允许通过 较大的电流。由于它的厚度薄，因此具有较好的可绕性，灵敏度系数较高。箔式应变片 还可以根据需要制成任意形状，适合批量生产。 3)金属薄膜应变片 它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜 以形成应变片。这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 a) 丝式 b) 箔式 图2.1.1 金属电阻应变片结构 1 1 2 2 3 3 图2.1.2 体型半导体应变片 2.1.2.2 半导体应变片 半导体应变片是利用半 导体材料的压阻效应而制成 的一种纯电阻性元件。 对一块半导体材料的某 一轴向施加一定的载荷而产 生应力时，它的电阻率会发 生变化，这种物理现象称为 半导体的压阻效应。 半导体应变片有以下几种类型： 1）体型半导体应变片 这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基 片上而成的应变片，其结构如图2.1.2所示