基于MMS技术的微型模具制作工艺研究 旧数据 TA文献链接 肖日松,杜立群,刘冲,刘海军,秦江, Xiao Risong, Du Liqun, Liu chong 作者单位: 肖日松,杜立群,刘冲, Xiao Risong, Du Liqun, Liu chong(大连理工大学精密与特种加工教育 部重点实验室,大连,116024:大连理工大学微系统研究中心,大连,116024),刘海军,秦江 Liu Hai jun, Qin jiang(大连理工大学微系统研究中心,大连,116024) 高技术通讯sTEp 英文刊名: CHINESE HIGH TECHNOLOGY LETTERS 年,卷(期) 2006,16(4) 引用次数 1.石庚辰微机电系统技术2002 2.王阳元武国英.郝一龙张大成肖志雄.李婷张国炳张锦文硅基NS加工技术及其标准工艺研究[期刊论文 3. Qu W Wenzel C Jahn A UV-LIGA: A Promising and Low-Cost Variant for Micro-system Technology 1999 4.黄庆安硅微机械加工技术1995 5. Ho C H Chin K P Yang C R Ultrathick SU-8 mold formation and removal, and its application to the fabrication of liga-like micromotors with embedded roots 2002 6. Dentinger PM. Clift W M Goods S H Removal of Su-8 photoresist for thick film applications 2002 7. Peele A G Shew B Y Vora K D Overcoming SU-8stiction in high aspect ratio structures 2005 8. Hsiharng Yang Shung-Wen Kang Improvement of thickness uniformity in nickel electroforming for the LIGA process 2000 9. Tan Y J. Lim K Y Understanding and improving the uniformi ty of electro-deposition 2003 1.期刊论文马欣涛.周建忠.戴亚春. MA Xin-tao. ZHoU Jian- zhong. DaI Ya-chun微型模具及微成形技术的 发展-机械设计与制造2005(12) 成形技术的基本概念和研究现状介绍了微型模具制造的原理和技术以及微成形技术的特点最后提出了该技术领域需要解 决的一些关键技术问题和发展趋势 2.期刊论文李敬锋立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统 无机材料学报2002,17(4) 综述了近年来与微型机电系统 (VEMS相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进 5)的应用 用碰品片作为微型模具来制备压电陶瓷和热 电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景 证文就(8 1.程吉风。丁桂甫.姚锦元.汪红.刘瑞基于W-LIA技术的微孔异形喷丝头制备[期刊论文]-传感器与微系统 2009(3) 2.杜立群.喻立川刘文涛宋磊金属基底上三维可动微机构的制作[期刊论文]纳米技术与精密工程2001) 3.王立鼎.褚金奎.刘冲.罗怡中国微纳制造研究进展[期刊论文]-机械工程学报2008(11) 4.杜立群.朱神渺.刘冲WV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究[期刊论文]-压电与声光2008(5) 5.汪红.姚锦元戴旭涵.王志民.朱军.赵小林低应力Ni-W/Ni叠层微模具的制备与特性[期刊论文]电镀与涂饰 6.邵力耕杜立群.王立鼎研究 UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法[期刊论文]光学精密工程2007(07) 7.刘海军.杜立群.秦江朱神渺无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究[期刊论文]一传感技术学报2006(05)基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究 作者： 肖日松， 杜立群， 刘冲， 刘海军， 秦江， Xiao Risong， Du Liqun， Liu Chong， Liu Haijun， Qin Jiang 作者单位： 肖日松,杜立群,刘冲,Xiao Risong,Du Liqun,Liu Chong(大连理工大学精密与特种加工教育 部重点实验室,大连,116024;大连理工大学微系统研究中心,大连,116024)， 刘海军,秦江 ,Liu Haijun,Qin Jiang(大连理工大学微系统研究中心,大连,116024) 刊名： 高技术通讯 英文刊名： CHINESE HIGH TECHNOLOGY LETTERS 年，卷(期)： 2006，16(4) 引用次数： 7次 参考文献(9条) 1.石庚辰 微机电系统技术 2002 2.王阳元.武国英.郝一龙.张大成.肖志雄.李婷.张国炳.张锦文 硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[期刊论文]- 电子学报 2002(11) 3.Qu W.Wenzel C.Jahn A UV-LIGA:A Promising and Low-Cost Variant for Micro-system Technology 1999 4.黄庆安 硅微机械加工技术 1995 5.Ho C H.Chin K P.Yang C R Ultrathick SU-8 mold formation and removal,and its application to the fabrication of LIGA-like micromotors with embedded roots 2002 6.Dentinger PM.Clift W M.Goods S H Removal of SU-8 photoresist for thick film applications 2002 7.Peele A G.Shew B Y.Vora K D Overcoming SU-8stiction in high aspect ratio structures 2005 8.Hsiharng Yang.Shung-Wen Kang Improvement of thickness uniformity in nickel electroforming for the LIGA process 2000 9.Tan Y J.Lim K Y Understanding and improving the uniformity of electro-deposition 2003 相似文献(2条) 1.期刊论文 马欣涛.周建忠.戴亚春.MA Xin - tao.ZHOU Jian - zhong.DAI Ya - chun 微型模具及微成形技术的 发展 -机械设计与制造2005(12) 这里阐述了微型模具及微成形技术的基本概念和研究现状,介绍了微型模具制造的原理和技术以及微成形技术的特点,最后提出了该技术领域需要解 决的一些关键技术问题和发展趋势. 2.期刊论文 李敬锋 立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用 -无机材料学报2002,17(4) 综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热 电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景. 引证文献(8条) 1.程吉凤.丁桂甫.姚锦元.汪红.刘瑞 基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备[期刊论文]-传感器与微系统 2009(3) 2.杜立群.喻立川.刘文涛.宋磊 金属基底上三维可动微机构的制作[期刊论文]-纳米技术与精密工程 2009(1) 3.王立鼎.褚金奎.刘冲.罗怡 中国微纳制造研究进展[期刊论文]-机械工程学报 2008(11) 4.杜立群.朱神渺.刘冲 UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究[期刊论文]-压电与声光 2008(5) 5.汪红.姚锦元.戴旭涵.王志民.朱军.赵小林 低应力Ni-W/Ni叠层微模具的制备与特性[期刊论文]-电镀与涂饰 2007(08) 6.邵力耕.杜立群.王立鼎 研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法[期刊论文]-光学精密工程 2007(07) 7.刘海军.杜立群.秦江.朱神渺 无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究[期刊论文]-传感技术学报 2006(05)