Si-玻璃间的键合过程 Cande N4是 Endrin ■Si与玻璃的阳极键合—将Si与玻璃叠在一起,加热 至300-400°C,同时在玻璃与Si片间施加1000V的高电压 。玻璃中的Nat向阴极迁移,使玻璃-Si界面处以静电力 吸引、键合到一起。在此过程中,Si处于阳极位置,因 而这一过程被称为阳极键合Si-玻璃间的键合过程 ◼ Si与玻璃的阳极键合 —— 将Si与玻璃叠在一起，加热 至300-400C，同时在玻璃与Si片间施加1000V的高电压 。玻璃中的Na+向阴极迁移，使玻璃-Si界面处以静电力 吸引、键合到一起。在此过程中，Si处于阳极位置，因 而这一过程被称为阳极键合