Chinese Journal of Nature Vol.45 No.3 REVIEW ARTICLE 上海大学孙涛等2基于特征多项式创建了 均方根误差均不超过1.5nm。如图10所示，将 36步加权多步移相算法，能够抑制高次谐波和相 该算法求解结果同ZYGO干涉仪求解结果进行对 移偏差之间的耦合误差。对透明平行平板的前后 比，验证了所提算法的准确性。 表面以及厚度变化的面形进行了10次重复测量， (b) 常名 1020304050.607080 102030405060 70 x/mm x/mm (c) (d) 02 8 0 8导常 04 0.5 10203040506070 80 102030405060 x/mm x/mm (e) (D) 3 5 0 0.15 15 0.0 0 0.1 0.15 1020304050607080 1020304050607080 x/mm x/mm 图1036步加权多步移相算法与ZYG0干涉仪测量对比结果：(a)36步算法获得的前表面面形：(b)ZYG0干涉仪获得的前表 面面形：(c)36步算法获得的后表面面形：(d)ZYG0干涉仪获得的后表面面形：（©）36步算法获得的厚度变化面形：（① ZYGO干涉仪获得的厚度变化面形 中国工程物理研究院任寰等根据波长移 常林等人8别通过对加权多步移相算法的有效性 相原理和各表面谐波腔长倍频关系，设计的波 进行深入探究，发现当多表面信号频率无混叠 长移相干涉测量算法，需要按照推导的被测腔 且采样频率与信号频率相匹配时，能够对多表 长与元件厚度间的比例关系放置被测元件。为 面频谱信号中的各部分干涉信号进行有效恢复 了突破这种被测元件位置限制问题，上海大学 并求解出各表面形貌分布881。因此，针对多表 ■ 166166 Chinese Journal of Nature Vol. 45 No. 3 REVIEW ARTICLE 图10 36步加权多步移相算法与ZYGO干涉仪测量对比结果[52]：(a) 36步算法获得的前表面面形；(b) ZYGO干涉仪获得的前表 面面形；(c) 36步算法获得的后表面面形；(d) ZYGO干涉仪获得的后表面面形；(e) 36步算法获得的厚度变化面形；(f) ZYGO干涉仪获得的厚度变化面形 上海大学孙涛等[52]基于特征多项式创建了 36步加权多步移相算法，能够抑制高次谐波和相 移偏差之间的耦合误差。对透明平行平板的前后 表面以及厚度变化的面形进行了10次重复测量， 均方根误差均不超过1.5 nm。如图10所示，将 该算法求解结果同ZYGO干涉仪求解结果进行对 比，验证了所提算法的准确性。 中国工程物理研究院任寰等[92]根据波长移 相原理和各表面谐波腔长倍频关系，设计的波 长移相干涉测量算法，需要按照推导的被测腔 长与元件厚度间的比例关系放置被测元件。为 了突破这种被测元件位置限制问题，上海大学 常林等人[88]通过对加权多步移相算法的有效性 进行深入探究，发现当多表面信号频率无混叠 且采样频率与信号频率相匹配时，能够对多表 面频谱信号中的各部分干涉信号进行有效恢复 并求解出各表面形貌分布[88]。因此，针对多表