·1206· 北京科技大学学报 第36卷 AlN和Al,03;Cr2p峰谱为Cr一0和Cr一N结合键， iours of AlCrN and TiAIN coatings deposited by physical vapor 其对应物为Cr2O,和CrN;NIs峰谱为Al一N和Cr一N deposition.Wear,2007,263:1423 结合键，另有少量的N一Cr一O和N一Al一O结合 [5]Liu Z Z,Liu Y H,Jiang B L.Yttrium impurity and hardness of CrAITi(Y)N films.Chin J Vacuum Sci Technol,2008,28(3): 键，其对应物为氧氨化物. 194 (3)经过800℃高温氧化4h后，A1CrN涂层具 (刘兆政，刘耀辉，蒋百灵.对薄膜CATi(Y)N硬度的研究. 有良好的抗高温氧化性，表面氧化物为Cr20,+ 真空科学与技术学报，2008,28(3)：194) AL,02;经过900℃高温氧化4h后，表面氧化膜以 [6]Zhao S L,Zhang J,Liu C S.High temperature oxidation behavior Cz0,为主，具有良好的抗高温氧化性能. of multi component (Ti,Al,Zr,Cr)N films deposited by multi-arc ion plating.JChin Soc Corros Prot,009,29(4):296 (赵时璐，张钧，刘常升.多弧离子镀(T,Al,Zx,C)N多元膜 参考文献 的高温氧化行为.中国腐蚀与防护学报，2009,29(4)：296) [1]Li Y Q,Li WZ,Liang T Q,et al.Morphology,microstructure [7]Li M S,Feng C J,Yang G L,et al.Oxidation resistance of (Ti, and reaction mechanism of arc-ion plated AlCrN coating at initial Al,Cr)N coatings at 800 C.Trans Norferrous Met Soc China, oxidation stage.Mater Prot,2010,43(12):25 2007,17(Suppl1):s831 (李月巧，李伟洲，梁天权，等.电弧离子镀ACN沉积层初 [8]Lee S M,Chow H M,Huang F Y,et al.Friction drilling of austenitic 期氧化形貌、组构及反应机制.材料保护，2010,43(12)：25) stainless steel by uncoated and PVD AlCrN-and TiAIN-coated tung- [2]Fan J C,Zhang L B,Wen D,et al.Combining diagnosis of the sten carbide tools.Int J Mach Tools Manuf,2009,49(1):81 casing and tooljoint wear in mud fluid while drilling.Tsinghua Sci [9]Kimura S,Emura S,Tokuda K,et al.Structural properties of Technol,,2004,9(3):266 AlCrN,GaCrN and InCrN.J Cryst Growth,2009,311(7):2046 [3]Li J R,Yang B,Wang S Q,et al.Research on thermal stability [10]Endrino J L,Fox-Rabinovich G S,Reiter A,et al.Oxidation and mechanical properties of Cr-Al-N coating.Cemented tuning in AlCrN coatings.Surf Coat Technol,2007,201(8): Carbide,2011,28(1):8 4505 (李竞荣，杨兵，王社权，等，CA1-N涂层的热稳定性及力 [11] Willmann H,Mayrhofer P H,Persson PO A,et al.Thermal 学性能研究.硬质合金，2011,28(1)：8) stability of Al-Cr-N hard coatings.Scripta Mater,2006,54 [4]Mo J L,Zhu M,Lei H B,et al.Comparison of tribological behav- (11):1847北 京 科 技 大 学 学 报 第 卷 和 ； 峰谱为 和 — 结合键 ， 其对应物为 和 峰谱为 — 和 ： 结合键 ， 另 有 少量 的 — 和 、一 — 结合 ： 键 其对应物为氧氮化物 经过 高温氧化 后 ， 涂层具 （ 刘 兆政 ， 刘 耀辉 ， 蒋百 灵 对薄膜 硬度 的研究 有 良 好 的 抗 高 温 氧 化性 ， 表 面 氧 化 物 为 真空科学与 技术学报 ， ； 经过 高 温氧化 后 ， 表 面 氧 化膜 以 为 主 ， 具有 良 好的抗高温氧化性能 ° “ — ： 赵 时骑 ， 张钧 ， 刘 常升 多弧离子镀 ， ， ， 多元膜 ■ 的高温氧化行为 中 国 腐蚀 与 防护 学报 ， ， ， ： ， ： 李 月 巧 ， 李伟洲 ， 梁 天权 ， 等 电 弧 离 子镀 沉积层初 期 氧化形貌 、 组构及反 应机制 材料保护 ， ： ’ ： ， ： ， ： ， ： 李竞荣 ， 杨 兵 ， 王社权 ， 等 涂层 的 热 稳 定 性及 力 学性能研究 硬质合金 ， ， ， 〉 ：