568 陈洪波等：VG202MKII精密硅片减薄机调试技术 2004年 周应进行一次PULCOM的完全校准。具体步骤可 47531 参阅操作手册)]。这里只介绍手册上未提及的关于 474.31 FPDb 0.22UMTR 运行SOI硅片的PULCOM补偿校准。 473.3 EPD-3p -0.3SUMTD TIR-3p 0.42UMTR 472.31 首先将DATA设为OI值，将设备置于“MAN- 0.44UMTR UAL”、“No.1st”模式。将0.5mm厚度校准表置于 ooDUMTR &严 472.75UMTR 472.71UMTR 1#探头下，将PULCOM置于“SETUP”模式，1#、 3#探头显示“GAGE-D模式。将探头放下，3#探头 图5调试结果 假如显示值为12，则1#探头可能显示为512或其 它值。升起探头，松开1#探头，将探头放下。将1共 6结束语 探头值调于2（这是一个经验值，可快速将1#和3 #值调至相同)，锁紧1#探头。 本文较为系统地介绍了VG202MKIⅡ精密硅片 将探头放下，检查1#探头显示值是否在12士 减薄机的几项关键调试技术及调试注意事项，对其 0.5范围内。如果不是，重复调试(1#探头所调值必 工艺精度的调试具有指导意义。 须作出相应调整)。 对1#、3#探头进行AutoZERO操作，按 参考文献： “END”回到主界面，放下两个探头应该都显示为 [1]VG202MKII Shibayama Grinder Reference Manual 0.0。升起探头，将1mm厚度校准表置于1#探头 [Z].Okamoto Corp,Japan.2002. 下，降下探头，将PULCOM置于“SETUP”模式，在 [2]PULCOM V10 machine control gage control unit[Z] 3#探头下进行AutoZERO操作，在1#探头下进行 Tokyo Corp,Japan.1999.18-19. CAL操作，输入值为500。按“END”回到主界面，取 [3]VG202MKII operation and maintenance manual[Z]. 出厚度校准表，将PULCOM置于“Auto”模式，补偿 Okamoto Corp,Japan.2002.1-13. 校准完成。 此处应注意：CAL操作输入的500值，要用 作者简介：陈洪波(1975-)，男（汉族），四 ADE测量硅片值与VG202MKII运行设定值之间 川省乐至县人，工学学士，主要从事半导体 的差别作进一步的补偿，因而不是一个固定值。 专用设备雏护及技术改造工作。 最终调试结果如图5所示。 (上接第564页) ITU-RBT.601[s].1995. 数字视频编码的要求，较同类芯片在面积和功能上 [6] ADV7175/ADV7176 integrated digital video encoder datasheet [Z].Analog Devices,1998. 有更大的优势。 [7]Oh S-H,Han S-H.An ASIC implementation of an optimized digital video encoder [J].IEEE Trans Con- 参考文献： sumer Electronics,1998,44(3):1097-1102. [1]Cummins T,Purcell J.Design techniques for a PAL/ [8]Tang Z-W,Zhang J,Min H.High-speed,pro- NTSC mixed-signal video encoder with 66 dB SNR grammable,CSD coefficient FIR filter [J].IEEE Trans Consumer Electronics,2002,48(4):834- and 0.4%differential gain [A].Proc IEEE Asia Pa- 837. cific Conf Circ and Syst [C].Seoul,South Korea, [9]SAA 113H 9-bit video input processor datasheet 1996.496-499. [Z].Philips,1998. [2] Cummins T,Murray B,Prendergast C.A PAL/ [10]The I'C-bus specification version 2.1 datasheet [Z]. NTSC digital video encoder on 0.6-um CMOS with Philips,2000. 66 dB typical SNR,0.4%differential gain,and 0.2 differential phase [J].IEEE J Sol Sta Circ,1997,32 (7):1091-1100. 作者简介：王杨(1978一)，项士研究生， [3]Rec.ITU-R BT.470-5,conventional TV systems 2001年毕业于复旦大学电子工程系电路 [s].1995. 与系统专业，主要研究方向为数字集成电 [4]Rec.ITU-R BT.601-5,digital TV systems [S]. 1995. 路的设计和祝频信号处理芯片的体系结构 [5]Rec.ITU-R BT.656-4,level of recommendation 研究。 万方数搭陈洪波等:VG202MKII精密硅片减薄机调试技术 2004年 周应进行一次PULCOM的完全校准。具体步骤可 参阅操作手册[z1。这里只介绍手册上未提及的关于 运行 SOI硅片的PULCOM补偿校准。 首先将 DATA设为 01值，将设备置于“MAN￾UAL" , "No. 1 st”模式。将 0. 5 mm厚度校准表置于 1#探头下，将 PULCOM 置于“SETUP”模式，1#、 3#探头显示“GAGE-D模式。将探头放下，3#探头 假如显示值为 12，则 1#探头可能显示为 512或其 它值。升起探头，松开1#探头，将探头放下。将 1# 探头值调于2(这是一个经验值，可快速将 1#和3 #值调至相同)，锁紧1#探头。 将探头放下，检查 1#探头显示值是否在 12士 0.5范围内。如果不是，重复调试(1#探头所调值必 须作出相应调整)。 对 1#,3#探头进行 AutoZERO操作，按 "END”回到主界面，放下两个探头应该都显示为 0.0。升起探头，将 1 mm厚度校准表置于 1#探头 下，降下探头，将PULCOM置于“SETUP”模式，在 3#探头下进行AutoZERO操作，在1#探头下进行 CAL操作，输入值为 500。按“END”回到主界面，取 出厚度校准表，将PULCOM 置于“Auto”模式，补偿 校准完成。 此处应注意:CAL操作输入的 500值，要用 ADE测量硅片值与 VG202MKII运行设定值之间 的差别作进一步的补偿，因而不是一个固定值。 最终调试结果如图 5所示。 475.31 474.31 4733 1 472.31 Diametric Variation=0.33 UMTR Rotation Angle=40.0 DEG FPD-bf TIR-bf FPD-3p TIR-3p TTV Ave. THK Min.THK Max.THK Cen.THK 0.22UMTR 0.40UMTR -0.35UMTR 0.42UMTR 0.44UMTR 472.55UM TR 472.31 UMTR 472.75UMTR 472.7) UMTR USE ARROW KEY TO CHANGE CROSS SECTION 图 5 调试结果 6 结束语 本文较为系统地介绍了VG202MKII精密硅片 减薄机的几项关键调试技术及调试注意事项，对其 工艺精度的调试具有指导意义。 参 考 文 献 : ， J 介 ﹂ ，上 2 一I L r L [3] VG202MKII Shibayama Grinder Reference Manual [Z]. Okamoto Corp, Japan. 2002. PULCOM V10 machine control gage control unit[Z]. Tokyo Corp, Japan. 1999. 18-19. VG202MKII operation and maintenance manual [Z]. Okamoto Corp，Japan. 2002. 1一13. 作者简介:陈洪波(1975-)，男(汉族)，四 川省乐至县人，工学学士，主要从事半导体 专用设各维护及技术改造工作 。 (上接第 564页) 数字视频编码的要求，较同类芯片在面积和功能上 有更大的优势。 参 考 文 献: [1] Cummins T,Purcell J. Design techniques for a PAL/ NTSC mixed-signal video encoder with 66 dB SNR and 0. 4写differential gain [A]. Proc IEEE Asia Pa- cific Conf Circ and Syst [C].Seoul，South Korea， 1996. 496-499. [2] Cummins T, Murray B, Prendergast C. A PAL/ NTSC digital video encoder on 0. 6-Km CMOS with 66 dB typical SNR, 0. 4写differential gain, and 0. 2 differential phase [J]. IEEE J Sol Sta Circ, 1997, 32 (7):1091-1100. [3〕 Rec. ITU-R BT. 470-5，conventional TV systems [S]. 1995. [4] Rec. ITU-R BT.601-5, digital TV systems [S]· 1995. 〔5 ] Rec. ITU-R BT. 656-4, level of recommendation ITU-R BT. 601 [S]. 1995. [6] ADV7175/ADV7176 integrated digital video encoder datasheet [Z]. Analog Devices，1998. [7] Oh S-H, Han S-H. An ASIC implementation of an optimized digital video encoder口]. IEEE Trans Con- sumer Electronics，1998，44(3):1097-1102. [8] Tang Z-W, Zhang J, Min H. High-speed, pro- grammable, CSD coefficient FIR filter [J].IEEE Trans Consumer Electronics，2002, 48(4):834- 837. [9] SAA & 113H 9-bit video input processor datasheet [Z]. Philips，1998. [10] The I'C-bus specification version 2.1 datasheet [Z]. Philips，2000. 作者简介:王 杨(1978-)，硕士研究生， 2001年毕业于复旦大学电子工程 系电路 与系统专业，主妥研究方向为数字集成 电 路的设计和视频信号处理芯片的体 系结构 研 究。 万方数据