,1030 北京科技大学学报 第31卷 (b) 61.60 61.60nm nm 5×5山mZ0-61.60nm 24m 5m×5m 图3YzO3薄膜的AFM照片.(a)表面形貌：(b)三维形貌 Fig-3 AFM images of Y203 film:(a)topographic image:(b)three-dimensional image 2.3薄膜的XPS分析 沉积薄膜的结合能位置，Y3d3/2的结合能位置在 图4是薄膜的XPS谱，该图是已经用C1s峰校 155.9eV,Y3d5/2的结合能位置在157.8eV,误差均 正过的图谱.图4(a)是Y203薄膜的XPS全谱图， 在士0.2eV,因此可以判断薄膜中的Y为十3价，并 从图可以看出，在薄膜的表面仅探测到了元素0和 且由于与Y3d对应的01s的结合能的位置在 Y的峰，而没有其他元素的峰出现，对Y3d谱进行 531eV士0.2eV,这是典型的金属氧化物的结合能 了分峰，如图4(b)所示.Y3d3/2的结合能位置在156 位置，表明沉积得到的Y203薄膜为基本上符合化 eV,Y3ds/2的结合能位置在158eV,对照图4(b)中 学计量比的氧化物薄膜 70000r 12000r (a) (b) 60000 10000 50000 8000 【k) 40000 () 6000 30000 4000 20000 2000 10000 0 20040060080010001200 145150155160165170 结合能/eV 结合能/eV 图4YzO3薄膜的XPS谱线.(a)宽扫描XPs图：(b)Y3d分蜂图 Fig.4 XPS spectra of Y203 films:(a)typical spectrum:(b)resolution spectra of Y3d 2.4薄膜的光学性质 的变化曲线图.从图5(a)中可以看出：随着波长的 图5是Y203薄膜的折射率和色散系数随波长 增加，Yz03薄膜的折射率下降，在波长大于300m 1.90(a) 0.7b 185 0.6 05 03 1.70 8 1.65 0.1 1.60 02 0.40.6 0.8 1.0 8 0.3 0.50.7 0.9 波长μm 波长μm 图5Yz03薄膜的折射率(a)和色散系数(b)随波长的变化曲线图 Fig.5 Refractive index (a)and extinction coefficient (b)of Y203 films图3 Y2O3 薄膜的 AFM 照片．（a）表面形貌；（b）三维形貌 Fig．3 AFM images of Y2O3film：（a） topographic image；（b） three-dimensional image 2∙3 薄膜的 XPS 分析 图4是薄膜的 XPS 谱‚该图是已经用 C1s 峰校 正过的图谱．图4（a）是 Y2O3 薄膜的 XPS 全谱图． 从图可以看出‚在薄膜的表面仅探测到了元素 O 和 Y 的峰‚而没有其他元素的峰出现．对 Y3d 谱进行 了分峰‚如图4（b）所示．Y3d3／2的结合能位置在156 eV‚Y3d5／2的结合能位置在158eV‚对照图4（b）中 沉积薄膜的结合能位置‚Y3d3／2的结合能位置在 155∙9eV‚Y3d5／2的结合能位置在157∙8eV‚误差均 在±0∙2eV‚因此可以判断薄膜中的 Y 为＋3价‚并 且由于与 Y3d 对应的 O1s 的结合能的 位 置 在 531eV±0∙2eV‚这是典型的金属氧化物的结合能 位置‚表明沉积得到的 Y2O3 薄膜为基本上符合化 学计量比的氧化物薄膜． 图4 Y2O3 薄膜的 XPS 谱线．（a）宽扫描 XPS 图；（b） Y3d 分峰图 Fig．4 XPS spectra of Y2O3films：（a） typical spectrum；（b） resolution spectra of Y3d 图5 Y2O3 薄膜的折射率（a）和色散系数（b）随波长的变化曲线图 Fig．5 Refractive index （a） and extinction coefficient （b） of Y2O3films 2∙4 薄膜的光学性质 图5是 Y2O3 薄膜的折射率和色散系数随波长 的变化曲线图．从图5（a）中可以看出：随着波长的 增加‚Y2O3 薄膜的折射率下降‚在波长大于300nm ·1030· 北 京 科 技 大 学 学 报 第31卷