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式中M为图象的放大倍数 综台上面叙述的定量立体心了显微术的湛本原理,这一:术的操作程序以简述如下: 1.试样在放入电镜前,先空资镀仪内把直径约为5nm的“小金岛”升华形成在 试样表面上。 2.在选定的衍射条件下摄取薄晶体衍衬象P1和相应的衍射谱D:,做为试样倾动前的 原始位置记录。 3.使用双向倾动台以所选用的衍射矢量g为倾转轴沿着与g相对应的菊池线倾转试 样。第二张衍射象P2和相应的衍射谱D2是在倾转了大约1~2°之后摄取,P,和D,的摄取则 在进一倾转了8~10°以后。P1、P2和P:必需是严格地从同一视野摄取,试样在倾转后的 聚焦只能借助于试样高度调整旋舒进行,以确保倾动前后的试样高度不变,也就是使L保持 不变。 4.使用D1、D2D:测量和计出倾转角a:和a2。 5.在P,:P:上选取参考阻点A,采用褙度较高的万能工具显微镜以底片暴光边界为 参考座标的座标轴x、y的方问,测出参考源,点A、待测点B及三个提供试样表面位置的“小 金岛”的座标值。 6.利用文中介绍的方法计算出待测点B在:试样表面下方的深度分布。 作者曾以这一方法用于研究铜华体中直径约为40nm的小铁颗粒内所产生的马氏体相变 过程,其頠转度的恻量精度约为±0.10°,小颗粒的深度分布精度可达±5nm。 47式 中 为图 象的 放大倍 故 综 合上面 叙述 的 定量立 体 电 一 显 微 术 的 飞 本原 理 , 这一 二 术 的操 作程 序 叮以 简述如下 试 样 在放 入 电镜前 , 先 内其 空 喷 镀 仪 内把 连径 约 为 的 “ 小金 岛 ” 升华形 成在 试 样表而 上 。 在选 定 的 衍射 条件 一「摄 取 薄晶体 衍衬 象 , 和 相应 的衍射 谱 ,, 做 为试 样倾 动前 的 原始位 置 记 录 。 一 一卜 使用 双向倾 功台 以所选用 的衍射 矢量 为倾 转轴 沿着 与 相 对 应 的 菊池 线 倾 转试 样 。 第二 张 衍射 象 和 相应 的 衍射 谱 是 在倾 转 了大 约 。 之后 摄 取 , 和 ,的摄取 则 在 进一 步倾 转 了 。 以 后 。 ,、 和 ,必需 是严 格地 从同一 视 野摄 取 , 试 样 在倾 转后 的 聚 焦只 能借助 于试 样 高度调 整 旋拼进行 , 以 确保倾 动前后 的试 样 高度 一 不变 , 也 就 是使 保持 不变 。 使用 , 、 不「 测 量 和 计算 出倾 转 角 ,和 。 , 在 匆 ,上选取 参考原点 , 采 用 精度较 高 的万 能 工具显 微 镜 以底 片暴 光边 界为 参考座标 的座标 轴 、 的方 问 , 测 出参考原 点 、 待 测点 及三个 提供 试 样表 面 位 置 的 “ 小 金 岛 ” 的座标 值 。 利 用 文 中介绍 的方 法计算出待测点 在试 样表面下 方 的深度 分布 。 作者 曾以 这一 方法用 于研 究铜 咙体 中直 径约 为 的 小铁 颗粒 内所产 生 的马氏体相变 过程 , 少咚倾 转 度 的测 量 精度约 为 士 。 , 小颗粒 的深度 分布 精度 ,可达 士
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