tg(8+y)=y:-y: X2-X1 B(X.Y) y:-yL-Y 8=arctg x:-x1 于是可得： S=Qsin8 试样慎转精 b 现在由图3中位置相应于2和f 的两张图象构成“立体对”。在两张 图片上取同样的参考原点A,于是由 待测点分别在两张图片上对倾转轴的 距离S,和S(参照图3)即可计算出这 国款底边 一待测点在试样内的深度位置如下： 图5 待测点B到倾转轴g垂直距离S的测量 S2=Lcos (o+a) 与计算示意图 S:=Lcos(o+a2) S:-S:=2Lsin (i 2 2 0=areain S:S。,-1ta2 2LBin a2-a 2 2 式中有两个未知数σ和L,需要用渐近的办法得到σ值。首先以S2数值代替L,代入上式后 计算得出a1: S: L1=co8(o1+a1) 将L1值代入计算a角的公式得出a2, S2 L2=c08(o:+a1) 再以L2值求得口3，如此重复直到所得的σ和L值在选定的精度内变化。 在位置2时待测点B的空间位置座标即为： X B=X:-X1 yB=y2-yi Eg=L·in(g+a) 为了得到待测点相对于试样表面的深度分布，还应先行确定试样表而的位置。试样表面 位置则是由升华到表面上的三个“小金岛”的位置座标确定的，由此所得试样表面的位置方 程为： ax +by +cz+d=0 待测点B(xBYBZ)到上述表面的最短距离(B点的深度)h可由下式算出： ha=laxa+byn+cze+dl M/a2+b2+c2 16口几 各 一 一 卜 之于会 一 丫 于 是可得 屹 乙 现 在 由图 中 位 置相 应 于 和 的两张 图象构成 “ 立体 对 ” 。 在两张 图片上取 同样的参考原点 ， 于 是 由 待测点 分别在 两张图片 上 对倾转轴的 距 离 和 ， 参照图 即可 计算出这 一待测点在试样内的深度位 置如下 肠 椒 必 皿 义 一 甲二︸ 尸一丫 尹︸ 。一沾 图象底边 图 侍测 点 到倾转 轴 垂直距 离 的测量 与计算示 意图 一 二 苗 以 一 仪 一 苗 卫 一 式 中有两个未知 数 和 ， 需 要用渐 近 的办 法得 到。 值 。 首先以 数值代替 ， 代入 上式后 计算得 出 ， ， 一 将 值代入 计算 角的公 式得 出 ， 、 试谕。 再 以 值求得 ， 如 此重 复直 到所得 的 和 值 在选 定的精度内变化 。 在位 置 时待测 点 的空 间位 置座标 即 为 一 。 一 · 址 为 了得 到待测点 相 对于试样表面 的深度分布 ， 还 应 先行确定试 样表而柏 位 置 。 试 样表面 位 置则 是 由升华 到表面 土 的三 个 “ 小金 岛 ” 的位 置座标 确 定的 ， 由此所得 试 样表而 的位 置方 程 为 十 待 测 点 。 。 ， 到 上述表面 的 最 短 距 离 点 一 勺深度 可 由下 式 算出 、 。 二 旦毕 土互更 几， 一 里 。