33晶体缺陷及对器件质量的影响 缺陷主要有:点缺陷位错(原生的和诱生的) 点缺陷 主要来源于晶体内杂质原子的挤压晶体结构 引起的应力所产生的缺陷,还有就是空位(晶 格点阵缺少原子所制)。如图所示 位错 位错是单晶内部一组晶胞排错位置所制(如 图所示 原生位错是晶体中固有的位错,而诱生位错是指 在芯片加工过程中引入的位错,其数量远远大 于原生位错。产生的原因大致可分为三个方面3.3 晶体缺陷及对器件质量的影响 缺陷主要有： 点缺陷 位错(原生的和诱生的) 点缺陷 主要来源于晶体内杂质原子的挤压晶体结构 引起的应力所产生的缺陷， 还有就是空位(晶 格点阵缺少原子所制)。如图所示 位错 位错是单晶内部一组晶胞排错位置所制(如 图所示).. 原生位错是晶体中固有的位错，而诱生位错是指 在芯片加工过程中引入的位错，其数量远远大 于原生位错。产生的原因大致可分为三个方面