分析得到,由于Ag的溅射几率较高,合金表面Pd的相对浓度为57%;高温退火后, 合金稳定的表面组成为Pd32Ag6,表面 为Ag富集(图7.6.1)。 AES对于表面组成的分析是十分 方便的,与氩离子溅射枪配合使用, AES可以用作样品的深度分析。图 7.2)所示就是ABS对样品进行深度分 析的一个例子,纵坐标为元素的表面相 对含量,横坐标为氩离子刻蚀的时间, 代表刻蚀深度。未经处理的超细非晶态 Ni-B(体相组成Ni2sB)合金颗粒 压成的表面主要由氧化态的B(标记为 Pd Bo)和元素态的B(标记为B)以 及少量的O和Ni组成。随着氩刻时间 图7.6.1Ag-Pd合金退火前后的AES谱 退火前;b.700K退火5min B B 20 Ni 12024036048060072084096010801200 氩离子溅射时间/秒 图7.6.2Ni-B合金表面Ni、B、0的表面浓度与氩刻时间的关系 的增加,表面Ni和Ba的浓度增加,B。和O的浓度逐渐下降。Ni和B(以及Bo和O 的变化趋势分别相似,说明样品中存在镍和硼以及硼的氧化物,与ⅪPS以及XRD的分析得到，由于 Ag 的溅射几率较高，合金表面 Pd 的相对浓度为 57% ；高温退火后， 合金稳定的表面组成为 Pd32Ag68 ，表面 为 Ag 富集（图 7.6.1）。 AES 对于表面组成的分析是十分 方便的，与氩离子溅射枪配合使用， AES 可以用作样品的深度分析。图 7.6.2所示就是 AES 对样品进行深度分 析的一个例子，纵坐标为元素的表面相 对含量，横坐标为氩离子刻蚀的时间， 代表刻蚀深度。未经处理的超细非晶态 Ni-B （体相组成 Ni2.52B ）合金颗粒 压成的表面主要由氧化态的 B （标记为 B(o) ）和元素态的 B （标记为 B(e) ）以 及少量的 O 和 Ni 组成。随着氩刻时间 的增加，表面 Ni 和 B(e) 的浓度增加， B(o) 和 O 的浓度逐渐下降。 Ni 和 B(e)以及 B(O)和 O 的变化趋势分别相似，说明样品中存在镍和硼以及硼的氧化物，与 XPS 以及 XRD 的 图 7.6.1 Ag-Pd 合金退火前后的 AES 谱 a.退火前； b.700K 退火 5min. 图 7.6.2 Ni-B 合金表面 Ni、B、O 的表面浓度与氩刻时间的关系