Cox 考虑界面态的MOS Cs Cit 电容等效电路 界面态对C-V曲线的影 响1：坡度变缓 界面态对C-V曲线的影 响2：平台效应 0 Ψ=20 Ψ0 Cmin 理论的C-V特性 存在界面态的CV特性 6 2 0 2 6 - 2 1 Applied Voltage (V)界面态对C-V曲线的影 响1：坡度变缓 界面态对C-V曲线的影 响2：平台效应 考虑界面态的MOS 电容等效电路