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制备单晶硅 为了使多晶硅变成高质量的单晶硅,把它放入石英坩 埚中,接后置于石墨感受器内以射频感应加热使之熔 融。把一块取向符合要求称作籽晶的单晶硅浸入熔融 硅中,让籽晶的一小部分返熔以消除表面可能存在的 缺陷,继而旋转籽晶并同时十分缓慢地从熔融液中拉 起,使籽晶保侍低于熔点的温度,当熔融硅与籽晶接 触时就发生固化。这样就拉出柱状单晶硅棒,典型直 径为2至3寸,长10寸左右。可以把杂质原子加入到熔 融的硅中,以得到P型或N型单晶。制备单晶硅 为了使多晶硅变成高质量的单晶硅,把它放入石英坩 埚中,接后置于石墨感受器内以射频感应加热使之熔 融。把一块取向符合要求称作籽晶的单晶硅浸入熔融 硅中,让籽晶的一小部分返熔以消除表面可能存在的 缺陷,继而旋转籽晶并同时十分缓慢地从熔融液中拉 起,使籽晶保侍低于熔点的温度,当熔融硅与籽晶接 触时就发生固化。这样就拉出柱状单晶硅棒,典型直 径为2至3寸,长10寸左右。 可以把杂质原子加入到熔 融的硅中,以得到P型或N型单晶
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