②二、MEMs微尺度效应 尺度缩小到微米以下将会带来不同物理后果;有些 尺度的微型化在物理学上是行不通的 1、几何结构学中的尺度效应 影响到:动力学惯量、流体表面力、热惯量与热传递 动力学例:大象S/V=10-4/m,蜻蜓S/V=101/m 电种域女学动力学例：大象S/V=10-4/mm，蜻蜓S/V=10-1/mm S 1 l V − = 二、MEMS微尺度效应 1、几何结构学中的尺度效应 尺度缩小到微米以下将会带来不同物理后果；有些 尺度的微型化在物理学上是行不通的 影响到：动力学惯量、流体表面力、热惯量与热传递