点击下载:电子科技大学:《微机电系统》课程教学资源(PPT课件讲稿)第二章 MEMS的设计 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)
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动力学例:微镜的响应速度 微镜是光纤通信网络中微开关的必要零件,要求 高速旋转,取决于角动量 微镜的截面惯性矩 12 mc I=-pbc't 如果尺寸各减少1/2 pbct]= 3212 32 电种域女学1 2 12 yy I mc = 1 1 1 3 [ ] 32 12 32 yy yy I bc t I = = 1 3 12 yy I bc t = 微镜是光纤通信网络中微开关的必要零件,要求 高速旋转,取决于角动量 动力学例:微镜的响应速度 微镜的截面惯性矩 如果尺寸各减少1/2
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