第4章低温多晶硅薄膜晶体管 简介 4.1多晶硅半导体的物理基础 4.2 LTPS TFT的工作原理与特性 4.3 LTPS TFT中的关键材料技术 4.4非晶硅晶化技术第4章 低温多晶硅薄膜晶体管 简介 4.1 多晶硅半导体的物理基础 4.2 LTPS TFT的工作原理与特性 4.3 LTPS TFT中的关键材料技术 4.4 非晶硅晶化技术