简介 p-Si TFT分为低温与高温TFT两类。LTPS TFT-LCD器件要比 HTPS TFT-LCD器件具有更低的成本，更简单的工艺和更大的应 用范围 LTPS与HTPS TFT-LCD的比较 性能 LTPS HTPS 工艺温度(C) <600 >900 基板 玻璃 石英 晶化方法 ELA SPC 栅极绝缘层制造方法 PECVD 热处理 基础工艺 非晶硅TFT Si-LSI 应用 直视显示，投影显示 投影显示简介 • p-Si TFT分为低温与高温TFT两类。LTPS TFT-LCD器件要比 HTPS TFT-LCD器件具有更低的成本，更简单的工艺和更大的应 用范围 性能 LTPS HTPS 工艺温度（℃） <600 >900 基板 玻璃 石英 晶化方法 ELA SPC 栅极绝缘层制造方法 PECVD 热处理 基础工艺 非晶硅TFT Si-LSI 应用 直视显示，投影显示 投影显示 LTPS与HTPS TFT-LCD的比较