①背散射电子。背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。背散射电子的产生 范围深（大约几百纳米），由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作 为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，导定性地进行成分分析。 ②二次电子。二次电子是被入射电子与样品内原子核外层电子发生非弹性散射时，使一部分核外电子获 得能量逸出样品表面，二次电子通常不包含与元素有关的信息，二次电子在样品表面(5-10m), 则很容易逸出表面，所以在扫描电镜中二次电子被用来表征样品表面信息.二次电子的数量与电子束 和表面的夹角有关，如果表面凹凸不平，就会产生不同的二次电子数量，从而造成反差，这就被用来 产生扫描电镜的二次电子像 ③吸收电子。入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透 射电子产生)，最后被样品吸收。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对 地的信号。若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则其衬度与二次电子像和背散射电子像的反差是 互补的。 ④透射电子。如果样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，那么就会有相当数量的入射电子能够穿过薄 样品而成为透射电子。样品下方检测到的透射电子信号中，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电 子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。其中有些待征能量损失E的非弹性散射电子和分析 区域的成分有关，因此，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。①背散射电子。背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。背散射电子的产生 范围深(大约几百纳米)，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作 为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，导定性地进行成分分析。 ②二次电子。二次电子是被入射电子与样品内原子核外层电子发生非弹性散射时，使一部分核外电子获 得能量逸出样品表面，二次电子通常不包含与元素有关的信息，二次电子在样品表面（5-10nm）， 则很容易逸出表面，所以在扫描电镜中二次电子被用来表征样品表面信息．二次电子的数量与电子束 和表面的夹角有关，如果表面凹凸不平，就会产生不同的二次电子数量，从而造成反差，这就被用来 产生扫描电镜的二次电子像 ③吸收电子。入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透 射电子产生），最后被样品吸收。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对 地的信号。若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则其衬度与二次电子像和背散射电子像的反差是 互补的。 ④透射电子。如果样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，那么就会有相当数量的入射电子能够穿过薄 样品而成为透射电子。样品下方检测到的透射电子信号中，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电 子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。其中有些待征能量损失E的非弹性散射电子和分析 区域的成分有关，因此，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析