⑤特征X射线。特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长 的一种电磁波辐射。如果用X射线探测器测到了样品微区中存在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相 应元素。不同原子序数Z的元素有不同的电离能，原子序数大的元素，有较大的电离能，特征X射线用于 TEM和SEM中的X射线能谱分析，它可以检测所分析的物质含有什么元素，EDS用于检测原子序数大于等 于4的元素.（探头材料所致，其中能谱仪中因S(L)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分 析原子序数大于11的元素：而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素) 真空 歇电子 气 U八几特征X射线 入射电子束 (如100kcV) 入射纯子束 、损失能量的电子 能最损失电子 特征X射线示意图 俄歌电子示意图 ⑥俄歇电子。如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量于表层化学成分分析。（类似于二次电子，区 别于二次电子，其中二次电子是入射电子在样品的导带和价带里打出来的电子，只需要小的能量（小于50） 就可以打出电子，而俄歇电子内层电子跃迁释放的能量，敏感于轻元素)⑤特征X射线。特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长 的一种电磁波辐射。如果用X射线探测器测到了样品微区中存在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相 应元素。不同原子序数Ｚ的元素有不同的电离能，原子序数大的元素，有较大的电离能，特征Ｘ射线用于 TEM和SEM中的Ｘ射线能谱分析，它可以检测所分析的物质含有什么元素，ＥＤＳ用于检测原子序数大于等 于４的元素．（探头材料所致，其中能谱仪中因Si(Li)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分 析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素） ⑥俄歇电子。如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量于表层化学成分分析。（类似于二次电子，区 别于二次电子，其中二次电子是入射电子在样品的导带和价带里打出来的电子，只需要小的能量（小于５０eV) 就可以打出电子，而俄歇电子内层电子跃迁释放的能量，敏感于轻元素）