·56· 北京科技大学学报 1996年 ·4H,0,封孔温度为90℃，封孔时间为20min;封孔处理后需再抛光，以恢复由于阳极氧 化和扩孔过程破坏的表面光洁度. 用SEM观察了阳极氧化膜的形貌；用AES和ESCA分析了阳极氧化膜的及沉积层中 C0,AL,O的分布和价态；用RBS分析了阳极氧化膜的厚度；用磁性分析仪分析了沉积层的 磁性能，研究了扩孔时间等对矫顽力、矩形比（即垂直磁性能及平行磁性能的比值）的影响， 2实验结果及分析 电沉积物质如C0可以垂直沉积于阳极氧化膜微孔中，这种结构使得前述处理具有垂直 磁性能.图1为边溅射边分析阳极氧化膜中AL,O,C0质量分数沿深度的分布曲线 100 80 40 20 Cg 0= 020406080100120140160 溅射时间/min 图1经阳极氧化及电沉积处理后的氧化膜A山，O,C0元素质量分数与藏射时间的关系 由图1可知，氧化膜中存在Al,O,Co元素，当Ar+溅射到140min后Co元素和0元素 分布趋近于零，即溅射到了Al基体上，在此之前膜中存在着Co元素.在溅射到1I0min 时出现C0元素峰值，也就说C0元素沉积主要在氧化膜的微孔底部. 图2为ESCA(光电子能谱)分析得到的AL,OD,膜中Al的ESCA谱和标准AL,O,谱.因此 得到氧化膜中A1以AL,O,形态存在.由ESCA分析得到的Al,O,膜中C0元素的ESCA谱，与 Co的标准ESCA谱一致. 根据阳极氧化膜的RBS谱，经计算机解谱计算得出氧化膜厚约143nm.图3为扩孔时 间对阳极氧化A1膜微孔直径的影响，随扩孔时间增加孔径扩大，有可能容易沉积更多的 C0离子，图4，图5分别为不同阳极氧化不同扩孔时间对平行与垂直方向上磁性能矩形比 的影响. 由图4可看出，在阳极氧化30~60min的范围内，在60min时具有更明显垂直磁性 能.由图5可看出在扩孔时间为20~80min的范围内，在扩孔60min时其垂直方向磁性能 达到极大值.由图3和图4可看出阳极氧化时间和扩孔时间对其垂直与平行方向磁性能有影. 5 6 . 北 京 科 技 大 学 学 报 19 9 6年 · 4H Z o , 封孔 温度 为 90 ℃ , 封孔 时 间 为 2 0 m in ; 封 孔处理后 需再 抛 光 , 以 恢 复 由于 阳极 氧 化和 扩孔 过程 破坏 的表 面光 洁度 . 用 S E M 观 察 了 阳 极 氧化 膜 的 形 貌 ; 用 A E S 和 E S C A 分 析 了 阳极 氧 化膜 的及 沉 积层 中 c o , A l , O 的分 布 和 价 态 ; 用 BR S 分 析 了 阳极 氧 化 膜 的厚 度 ; 用 磁性 分 析 仪分 析 了沉 积层 的 磁 性 能 , 研究 了扩 孔 时间等 对矫顽 力 、 矩 形 比 ( 即垂直 磁性 能及 平行磁 性 能 的 比值 ) 的 影 响 . 2 实 验结果 及分析 电沉 积物 质如 C o 可 以 垂直 沉积 于 阳极 氧化 膜微 孔 中 , 这 种结构 使得 前述处理 具有 垂直 磁性能 图 l 为边 溅射 边分 析 阳 极氧 化膜 中 lA , 0 , C O 质 量分 数沿 深度 的分布 曲线 . 一飞广、 一认卜气 6 0 岁留侧 0 一 0 2 0 4 0 6 0 8 0 1 0 0 1 2 0 14 0 16 0 溅射时间 /m in 图 1 经阳极 氧化及 电沉积 处理后的权化膜AI, o, c o元索质 t 分数与溅射 时间的关 系 由 图 l 可知 , 氧 化膜 中存 在 A l , 0 , C O 元 素 , 当 A r + 溅 射到 14 0 m in 后 C o 元 素和 0 元 素 分 布 趋 近于 零 , 即 溅射 到 了 lA 基 体 上 , 在 此 之 前膜 中存 在 着 C O 元 素 . 在 溅 射 到 1 10 m in 时出现 C o 元 素 峰值 , 也就 说 C o 元素 沉积 主要 在 氧化膜 的微 孔底 部 . 图 2 为 E S C A (光 电子能 谱) 分析 得到 的 1A 2 0 3 膜 中lA 的 E s C A 谱和标 准A 1 2 0 3谱 . 因此 得 到氧 化膜 中 1A 以 A 1 2 O 3形 态存在 . 由 E S C A 分析 得 到的 1A 2O 3膜 中C 。 元素 的 E S C A 谱 , 与 C o 的标 准 E S C A 谱一致 . 根 据 阳极氧 化膜 的 R B S 谱 , 经计算 机 解谱计算得 出氧 化膜厚 约 14 3 n m . 图 3 为扩 孔时 间 对 阳 极 氧化 A l 膜 微 孔 直径 的 影 响 , 随 扩 孔 时 间 增 加 孔径 扩 大 , 有 可 能容 易 沉积 更多 的 C o 离 子 . 图 4 , 图 5 分 别 为不 同 阳 极 氧化 不 同 扩孔 时 间 对平 行 与垂 直方 向上磁 性 能矩 形 比 的影 响 . 由 图 4 可 看 出 , 在 阳极 氧 化 30 一 6 0 m in 的 范 围 内 , 在 6 0 m in 时具 有更 明 显垂直 磁性 能 . 由图 5 可看 出在 扩孔 时 间为 2 0 ~ 80 m in 的范 围 内 , 在扩 孔 60 m in 时其 垂直 方 向磁性 能 达到极 大值 . 由图 3 和 图 4 可 看 出 阳极 氧化 时间和 扩孔 时 间对其 垂直 与平行 方 向磁 性能有 影