5.2SEM的像衬度原理及其应用 入射电子京 Ψc>ΨA>ΨB (a OC>OAOB iscinisn C小刻面的像比A和 B亮，A又比B亮。 图5-6δ-w关系曲线 5-7形貌衬度原理5.2 SEM的像衬度原理及其应用 图5-6 δ-ψ关系曲线 5-7 形貌衬度原理 ψC＞ψA＞ψB σC＞σA＞σB > > C小刻面的像比A和 B亮，A又比B亮。 sC i sA i sB i