5.2SEM的像衬度原理及其应用 式中K为比例常数，山为样品物质对电子的 吸收系数，对于能量很低的二次电子来说， u值是非常大的，如果xcosw的值不是非常 小，那么dx处所产生的二次电子就几乎不 能达到样品表面而被物质所吸收。对(5-3) 式进行积分则得： L,=KetcosΨdr≈K2/cosy5.2 SEM的像衬度原理及其应用 式中K1为比例常数，u为样品物质对电子的 吸收系数，对于能量很低的二次电子来说， u值是非常大的，如果xcosψ的值不是非常 小，那么dx处所产生的二次电子就几乎不 能达到样品表面而被物质所吸收。对（5-3） 式进行积分则得： cos 1 2 0 / cos a ux ψ s I K e dx K ψ    