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一、薄膜制备工艺 二、光刻工艺 三、刻蚀工艺（Etch Process） 四、掺杂工艺 五、氧化工艺 六、其它工艺 • CMP(chemical mechanical planarization) • SOI (silicon on insulator) • 铜互连 • 硅片键合与背面腐蚀技术 • 注氧隔离技术(SIMOX) • 智能剥离技术

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第七章 光子学薄膜、光学镀膜材料、光学薄膜制备的厚度监控

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第六章 光学材料简介

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_Si-based LED

2.1 高频电路中的有源器件 2.2 无源谐振电路分析 2.3 干扰和噪声