复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_Let there be light

一、薄膜制备工艺 二、光刻工艺 三、刻蚀工艺（Etch Process） 四、掺杂工艺 五、氧化工艺 六、其它工艺 • CMP(chemical mechanical planarization) • SOI (silicon on insulator) • 铜互连 • 硅片键合与背面腐蚀技术 • 注氧隔离技术(SIMOX) • 智能剥离技术

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_中国科学（2003）负折射率

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_Science_Integrated Compact Optical Vortex Beam Emitters（于思远）

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_negative refractive index

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_Si nanocrystals microdisk array

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_Optical microcavities

光纤通信基础_第四章 光无源元件（偏振控制器）

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学案例_WDM thin film filter

光纤通信基础_第四章 光无源元件（波导的横向耦合和耦合器）