一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、气体的放电现象与等离子体 二、物质的溅射效应和溅射产额 三、各种各样的溅射技术

西南科技大学：《测量学》课程教学资源（PPT课件讲稿）作业讲解（三）

P130第10题 295 13 42 343 31 01 4 34 12 51 16 06

一、 进一步熟悉经纬仪的使用。 二、掌握经纬仪视距导线的布设、施测和计算方法

一、名词解释：大地水准面、大地体、旋转椭球体、天文坐标、大地坐标、高程、绝对高程（海拔）、相对高程（假定高程）、水准原点

西南科技大学：《测量学》课程教学资源（参考资料）用计算器进行角度加减和三角函数的计算

一、角度测量原理 二、光学经纬仪 三、经纬仪的检验与校正 四、水平角观测 五、竖直角观测 六、水平角观测的误差