湖南人文科技学院：信息学院电子信息科学与技术专业《微电子（IC设计）EDA实训》课程实践教学大纲

从光电子与微电子相似的发展规律出发,阐述微电子对于信息技术的重要作用以及对发展光电子产业的启迪。正确把握光电子与微电子相互促进、相互依存、并行发展的客观规律。信息的需求量仍呈指数增长，必须保持清醒的头脑，“机遇与挑战并存”对发展光电子与信息产业上更具现实意义

1.1计算机的发展史 微电子器件的发展和摩尔定律

北方工业大学：微电子科学与工程（集成电路设计与测试）《集成电路CAD与版图技术》课程教学大纲

北方工业大学：微电子科学与工程（集成电路设计与测试）《集成电路测试技术基础》课程教学大纲

北方工业大学：微电子科学与工程（集成电路设计与测试）《集成电路应用技术》课程教学大纲

1. 芯片结构及元器件工作原理 2. 芯片失效机理 3. 芯片失效分析技术

第一章 前言 参考文献 第二章 电感电容压控振荡器 第三章 硅基片上螺旋电感 第四章 可变电容特性分析 第五章 相位噪声分析 第六章 压控振荡器的优化 第七章 相位噪声降低技术 第八章 设计实例 第九章 总结和展望

本文对全息曝光技术进行了分析,给出了二次曝光的典型再现光路,并且对制造微电子集成电路上的应用作了展望

一、薄膜制备工艺 二、光刻工艺 三、刻蚀工艺（Etch Process） 四、掺杂工艺 五、氧化工艺 六、其它工艺 • CMP(chemical mechanical planarization) • SOI (silicon on insulator) • 铜互连 • 硅片键合与背面腐蚀技术 • 注氧隔离技术(SIMOX) • 智能剥离技术