一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ，通过阅读文献和其他的相关材料，达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的

一、等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法

一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

原子簇(团簇) cluster C660 Roundest and most symmetrical molecule known to man Compressed becomes stronger than diamond Third major form of pure carbon Heat resistance and =0.77nm electrical conductivity

在当今这个科技高速发展的新时代,你可能感觉不到化学的存在和它 对我们的影响。这是为什么?因为化学早已渗透你的生活,在无形中影响学生的学 着你方方面面。从人类对火的使用开始,到化工合成开始逐步取代天然原习兴趣, 料,到现在方兴未艾的有机合成和材料工业、纳米技术、生物化学,可以深入理解 说化学从它诞生的那一天起,就在人们的生活中充当着一个无可替代的脚课程的本 色

本书由三大部分构成。第1、2章是纳米技术的基本情况；第3~7章主要是纳米电、磁、光功能材料及其在电子元器件中的应用；8~10章则主要是纳米电子学的基本知识。三个部分有一定的独立性联结起来又成一体。可供电子科学技术、材料、物理、化工、冶金等学科和相关技术人员使用

§6.1 十九世纪末物理学的三大发现 §6.2 量子论和量子力学的诞生 §6.3 激光 §6.4 核物理与核技术 §6.5 粒子物理学与粒子标准模型 §6.6 纳米技术