通过本章学习，将能够： 1. 解释金属化； 2. 列出并描述在芯片制造中的6种金属，讨论它们的性能要求并给出每种金属的应用； 3. 解释在芯片制造过程中使用金属化的优点，描述应用铜的挑战； 4. 叙述溅射的优点和缺点； 5. 描述溅射的物理过程，讨论不同的溅射工具及其应用； 6. 描述金属CVD的优点和应用； 7. 解释铜电镀的基础； 8. 描述双大马士革法的工艺流程

一、平衡态 热力学系统(热力学研究的对象):大量微观粒子(分子、原子等)组成的宏观物体外界:热力学系统以外的物体。系统分类(按系统与外界交换特点):孤立系统:与外界既无能量又无物质交换

由水泥、水和粗细集料按一定比例混合并搅拌均匀而成的混合物,在自身物理化 学作用下逐渐凝结硬化而得到的坚硬物体称为混凝土。一个半世纪以来混凝土科学理 论与技术的不断进步,使混凝土材料使用范围不断扩大,到目前为止全世界水泥总产 量以达13亿吨,混凝土总产量以达到大约30亿立方米,成为建筑工程中最大宗的材 料

蒙特卡洛求积分的方差为 o2=}n 其中}为被积函数f的方差。 公式反映出增加随机点数n时蒙特卡洛计算的精度可以得 到改善,但是精度提高非常缓慢。因此用增加蒙特卡洛计算的随 机投点数来提高精度总是耗费大量的机时。 另一个减少计算结果误差的途径是减少f的方差v} 重要的减少方差v}的技巧

地热发电是利用地厂热水和蒸汽为动力源的一种新型发电技术，它涉及地质学、地球物理、地球化学、钻探技术、材料科学和发电工程等多种现代科学技术。按照载热体类型、温度、压力和其他特性的不同，可把地热发电的方式划分为地热蒸汽发电和地下热水发电两大类

1、重点内容: ①凝结与沸腾换热机理及其特点; ②膜状凝结换热分析解及实验关联式; 3大容器饱和核态沸腾及临界热流密度 2、掌握内容: 掌握影响凝结与沸腾换热的因素

如果在晶体中存在温度梯度 w能流密度:0=-d一单位时间内通过单位面积的热能,其中为品体的热导系数。 不考虑电子对热传导的贡献,晶体中的热传导主要依靠声子来完成 当样品中存在温度梯度时,“声子气体”的密度分布是不均匀的。温度较高的区域将有产生较多的振 动模式和具有较大的振动幅度,即有较多的声子被激发,“声子”密度高。这些声子通过和晶体中其 它声子发生碰撞,使得温度较低的区域具有同样的“声子”密度

1、由两种或两种以上物理、化学、力学性能不同的物质,经人工组合而成的多相 固体材料叫做复合材料。 2、复合材料可分为结构复合材料和功能复合材料两大类

8-1角系数的定义、性质及计算 辐射换热表面之间的相对位置对表面之间辐射换热量影响的 分析: 图8-1示出了两个等温表面间的两种极端布置情况:图a中两 表面无限接近,相互间的换热量最大;图b中两表面位于同一平 面上,相互间的辐射换热量为零

地下水水质是指水和其中所含的物质组分所共同表现的物理、化学和生物学的综合特 征。各项水质指标则表示水中的种类、成分和数量,是判断水质的具体衡量标准。地下水 中物质成分来源主要是由赋存于岩石圈中的地下水不断与岩土发生化学反应,并在大气 圈、水圈和生物圈进行水量交换而形成的,人类活动对地下水所含物质组分的改变与影响 呈日益加剧的趋势