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离子注入是将某一需要注入的化学元素的原子经电离后变成离子，并将其在电场中加速，获得较高的动能后注入到固体材料表面，以改变该材料表面的物理、化学或机械性能的一种技术。在离子注入过程中，具有一定动能的离子射入固体后，就与固体表层内的原子核和电子发生随机碰撞

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