一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

§4.1 引言 § 4.2 多组分系统的组成表示法 § 4.3 偏摩尔量 § 4.4 化学势 § 4.5 气体混合物中各组分的化学势 § 4.6 稀溶液中的两个经验定律 § 4.7 理想液态混合物 § 4.8 理想稀溶液中任一组分的化学势 § 4.9 稀溶液的依数性 § 4.11 活度与活度因子 *§ 4.10 Duhem-Margules公式 *§ 4.12 渗透因子和超额函数 § 4.13 分配定律——溶质在两互不相溶液相中的分配 *§ 4.14 理想液态混合物和理想稀溶液的微观说明 *§ 4.15 绝对活度

(1)明确化学平衡的热力学条件及如何由平衡条件导出化学反应等温方 程式,掌握化学反应等温方程式的意义及其应用 教学目的和2)明确标准平衡常数K的意义

§4.1 引言 §4.2 多组分系统的组成表示法 §4.3 偏摩尔量 §4.4 化学势 §4.5 气体混合中各组分的化学势 §4.6 溶液中的两个经验定律 §4.7 理想液态混合物 §4.8 理想稀溶液中任一组分化学势 §4.9 稀溶液的依数性 §4.11 活度与活度系数 §4.12 分配定律

“三传一反”阶段。五十年代中期,化学工程中出现了“化学反应工程学”这一新的 分支。对化学反应器的研究,不仅要运用化学动力学与热力学原理,而且要运用动量、热量、 质量传递原理

一、化学反应体系 二、热力学基本方程 三、化学反应的方向与限度 四、为什么化学反应通常不能进行到底 五、化学反应亲和势

§4.1 偏摩尔量 §4.2 化学势 §4.3 气体组分的化学势 §4.4 拉乌尔定律和亨利定律 §4.5 理想液态混合物 §4.6 理想稀溶液 §4.7 稀溶液的依数性 §4.8 逸度与逸度系数 §4.9 活度及活度因子

一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

1.5 mol He(g)从273.15K和标准压力变到98.15K和压力p=10×,求过程的ΔS.(已知Cm=3/2) 2.0.10kg283.2K的水与0.20kg313.2K的水混合,求△S设水的平均比热为4.184k/(kkg)

1.如果一个体重为70kg的人能将40g巧克力的燃烧热(628k)完全转变为垂直位移所要作的功,那么这点热量可支持他爬多少高度? 2.在291K和下,1 mol Zn(s)溶于足量稀盐酸中置换出1molH2并放热152kJ。若以Zn和盐酸为体系,求该反应所作的功及体系内能的变化