扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM )之后发展起来的一种电子显微镜 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或 透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照 明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 方式照射到试样上,产生各种与试样性质有 关的信息,然后加以收集和处理从而获得微 观形貌放大像

一、电子探针的原理 二、电子探针仪的结构 三、波谱仪(WDS) 四、能谱仪(EDS) 五、电子探针仪分析方法

主要优点:放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深 大等 目前广泛应用于材料、生物等研究领域 扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子 显微镜均不同,它不是以透镜放大成象,而是以类似 电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发产生的某些物理信号来调制成象,近年扫描 电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功 能仪器

◼引言 ◼电子波与电磁透镜 ◼电磁透镜的像差和分辨本领 ◼电磁透镜的景深和焦长

透射电子显微镜成像时,电子束是透过样 品成像。由于电子束的穿透能力比较低, 用于透射电子显微镜分析的样品必须很薄 根据样品的原子序数大小不同,一般在 50~500nm之间。制备透射电子显微镜分析 样品的方法很多,这里介绍几种常用的制 样方法

一、概述 二、X光电子能谱 三、俄歇电子能谱 四、扫描隧道显微镜(STM) 五、与原子力显微镜(AFM)

1、熟悉信号采样系统的基本组成及原理 2、设计一个基本的信号采样与存储系统

1. 了解信号采集过程中抽取功能的作用； 2. 掌握分级计数器的设计原理； 3. 掌握利用计数器控制FIFO写使能以实现抽取的方法

1. 掌握信号采集过程中触发的原理和作用，掌握基本的触发条件设置方法； 2. 掌握数字触发功能的设计方案及实现方法

1、了解模拟信号被数字量化后产生的各类误差。 2、学习数据采集系统的动态性能评估方法。 3、数据采集系统的动态性能(SNR、 SINAD 、ENOB)的算法实现