对于中规模、大规模和某些VLSI的IC，前面介绍的基本光刻工艺完全适用，然而 ，对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代，某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括：光学设备的物理局限；光刻胶分辨率的限制；晶园表面的反射现象和高低不平现象等

通过本章学习，将能够： 1. 解释金属化； 2. 列出并描述在芯片制造中的6种金属，讨论它们的性能要求并给出每种金属的应用； 3. 解释在芯片制造过程中使用金属化的优点，描述应用铜的挑战； 4. 叙述溅射的优点和缺点； 5. 描述溅射的物理过程，讨论不同的溅射工具及其应用； 6. 描述金属CVD的优点和应用； 7. 解释铜电镀的基础； 8. 描述双大马士革法的工艺流程

数字系统的特点：输入、输出都是数字量。 自然界所存在的物理量大多数是模拟量，如温度、湿度、 压力、流量、速度、时间等。数字系统不能直接处理模拟量， 所以要把模拟量先转换为数字量（A/D)，然后送入数字系统中 去处理

一、宝石的结晶学特征 二、宝石的力学性质 三、宝石的光学性质 四、宝石中的其它物理性质 五、宝石中的包裹体 六、宝石的加工款式

一、骨骼肌的物理特性 伸展性：骨骼肌在受到外力牵拉或负重时可被拉长的特性。 弹性：而当外力或负重取消后，肌肉的长度又可恢复的特性。 粘滞性：肌浆内各分子之间的相互摩擦作用所产生的特性

环境容量是指人类和自然环境不致受害的情况下，其所能容纳的污染物的最 大负荷。 特定的环境（如城市、水体等）的容量与该环境的社会功能、环境背 景、污染源位置（布局）、污染物的物理化学性质以及环境自净能力等因素有关。 一般所指的环境容量是在保证不超出环境目标值的前提下，区域环境能够容许的 污染物最大允许排放量

一、什么是计算机网络 计算机网络（Computer Network)是将处于 不同地理位置上的数台计算机系统通过通信设备 和传输介质相互物理连接，并在网络软件的控制 下，能实现在网络上进行通信和资源共享的系统 称为计算机网络

1.理解醛酮的定义和分类 2.掌握醛酮的命名方法 3.了解醛酮的物理性质 4.掌握醛和酮的相似反应及不同的反应

鱼、肉、加工食品等要长期贮藏，如一个月以上就必须经过冻结处理。一般 食品温度越低质量变化越缓慢，质量变化是由酶、微生物及氧化作用等引起，它 们都随温度降低而作用受弱。此外因蒸发而引起的干耗速度亦随温度降低而变 弱。 防止微生物繁殖的临界温度是－12℃，但在此温度下酶及非酶作用以及物理 变化都还不能有效地抑制。所以必须采用更低的温度，实际使用时的推荐温度是 —18℃。 在也这样低的温度下食品内含有的水分必定要结冰，冰晶危害

一、 电路模型与电路中基本变量 在集总假设的条件下，定义一些理想电路元件(如R、L、C 等)，这些理想电路元件在电路中只起一种电磁性能作用，它 有精确的数学解析式描述，也规定有模型表示符号。对实际的 元器件， 根据它应用的条件及所表现出的主要物理性能，对 其作某种近似与理想化(要有实际工程观点)，用所定义的一种 或几种理想元件模型的组合连接，构成实际元器件的电路模型