1绪论 2污染控制化学基本原理 3大气污染控制化学 4水污染控制化学 5土壤污染控制化学 6固体废弃物污染控制化学 7污染控制化学进展

早在英国爱德华二世(1284~1327)年代,这位国王就曾想通过禁止使用煤来解决 燃煤产生的烟气污染问题。他曾颁布了一道法令:“无论是谁被发现燃烧煤,他就是 有罪的,都将受到杀头的惩罚”。由此可见,大气污染自古有之。如同其它污染控制 样,大气污染控制技术和工程、设备也是在大气污染到了一定的程度、顺应时代需 要的产物:控制技术的研究与工程应用的主要推动原因是严重的大气污染事件的刺 美国的 Donora是一座钢铁小城,在1948年仅有3家主要工厂:钢铁厂、电线厂 和锌板厂

蒸气压及蒸发 VOCs污染预防 VOCs污染控制方法和工艺

在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件 性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍 洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的 清洗工艺等 5.2污染类型 微粒金属离子化学物质细菌 ·微粒器件对污染物的敏感度取决于特征图形的 尺寸和晶体表面沉积层的厚度。由于特征图形尺 寸越来越小,膜层厚度越来越薄,所允许存在的 微粒尺寸也必须控制在更小的尺度上

1.粉尘的粒径及粒径分布 2.粉尘的物理性质 3.净化装置的性能 4.颗粒捕集理论基础

1 大气污染源和大气污染物 2 大气污染控制的主要内容

5.1概述 在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的清洗工艺等

1、环境噪声影响评价工作程序和内容

一、振动对环境的影响和评价 二、振动控制的基本方法 三、隔振原理 四、隔振设计与计算

➢ 氮氧化物的性质及来源 ➢ 燃烧过程中氮氧化物的形成机理 ➢ 低氮氧化物燃烧技术 ➢ 烟气脱硝技术