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北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）

文档格式：PPT　文档大小：757.5KB　文档页数：53

一、 MEMs发展简介二、MEMs的制备技术基础三、典型应用的MEMs

电子科技大学：《微机电系统》课程教学资源（PPT课件讲稿）第二章 MEMS的设计 Micro-Electro-Mechanical-System（MEMS）

文档格式：PPT　文档大小：1.19MB　文档页数：60

硅晶体结构与微观力学微尺度效应 MEMS设计的基本问题 MEMS设计的具体方法

川北医学院：《生物医学工程导论》课程教学资源（课件讲稿）12 微机械电子系统技术在生物医学工程中的应用（Micro Electro Mechanical System，MEMS）

文档格式：PDF　文档大小：3.1MB　文档页数：55

MEMS简介 MEMS制造工艺 MEMS的应用

北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）

文档格式：PPT　文档大小：605.5KB　文档页数：53

一、MEMs发展简介二、MEMs的制备技术基础三、典型应用的MEMs

《Microelectronics Process》MEMS Mask layout

文档格式：PDF　文档大小：25.27KB　文档页数：1

MEMS Mask layout Die leve Dark-field mask Dimensions are in micron

电子科技大学：《柔性MEMS系统与集成 Flexible MEMS Technology and Integration》课程教学资源（教学大纲）

文档格式：PDF　文档大小：422.89KB　文档页数：4

电子科技大学：《柔性MEMS系统与集成 Flexible MEMS Technology and Integration》课程教学资源（教学大纲）

《Microelectronics Process》MEMS LAB SESSION 2

文档格式：PDF　文档大小：49.87KB　文档页数：3

MEMS LAB SESSION 2 Undercut Silicon Nitride using KOH Etching OVERVIEW OF LAB SESSION: This lab session utilizes potassium hydroxide(koh) wet etching to undercut and release the silicon nitride cantilevers and fixed-fixed beams. In Step

《塑料成型工艺与模具》参考资料：基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究

文档格式：PDF　文档大小：549.65KB　文档页数：6

《塑料成型工艺与模具》参考资料：基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究

电子科技大学：《微机电系统设计与制造》课程教学资源（PPT课件）第四章 MEMS的制造技术

文档格式：PPT　文档大小：3.04MB　文档页数：64

4.1. 体微加工 4.3 LIGA体微加工技术 4.4 表面微加工 4.5 键合技术 4.6 其他微加工技术

河南大学：《微机电系统设计与应用》课程教学资源（教学大纲）Design and Application for MEMS

文档格式：PDF　文档大小：214.45KB　文档页数：3

河南大学：《微机电系统设计与应用》课程教学资源（教学大纲）Design and Application for MEMS

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