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多晶黑硅的制备及其组织性能
文档格式:PDF 文档大小:750.49KB 文档页数:4
利用等离子体浸没离子注入技术在多晶硅基底上制备了黑硅材料,利用扫描电镜、分光光度计和微波光电导衰减测试仪对黑硅的组织结构、光吸收率和少数载流子寿命进行了测试分析,发现黑硅呈现多孔组织,在可见光波段的平均吸收率大于94%,其平均少数载流子寿命为5.68μs.研究了注入工艺参数对黑硅的影响,发现工作气体SF6和O2流量比对黑硅的组织性能影响最大,当其为2.80时制备的黑硅组织性能最好
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《常用高压开关设备》第二讲 SF6
文档格式:PPT 文档大小:853KB 文档页数:3
1.接线端子 2环氧树脂外壳6静弧触头 3.喷嘴
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