微机电系统设计与制造

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基本信息:
资源类别:课件(包)
课件分类:电气与自动化
课件类型:电子教案
文件大小:19.6MB
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课件说明:
本课件包含微机电系统概论、微机电系统功能材料、微机械加工制造技术、微机械执行器、微机械传感器、微机械弱信号检测与处理、微机电系统设计技术、微封装、微构件及微尺寸效应。
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