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在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件 性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍 洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的 清洗工艺等 5.2污染类型 微粒金属离子化学物质细菌 ·微粒器件对污染物的敏感度取决于特征图形的 尺寸和晶体表面沉积层的厚度。由于特征图形尺 寸越来越小,膜层厚度越来越薄,所允许存在的 微粒尺寸也必须控制在更小的尺度上

1 大气污染源和大气污染物 2 大气污染控制的主要内容

第一节 概述 第二节 农药对动物性食品的污染 第三节 有害金属对动物性食品的污染 第四节 其他有害化合物对动物性食品的污染 第五节 食品添加剂及其对动物性食品的污染 第六节 食品包装材料的污染及控制 第七节 动物性食品化学性污染的控制措施

第一节 概述 一、食品中有害化学物质的来源 二、食物链和污染物进入人体的途径 三、生物富集与食品残毒 四、有害化学物质的特点 第二节 农药对动物性食品的污染 一、概述 二、动物性食品中农药残留的来源 三、常用农药对动物性食品的污染 第三节 有害金属对动物性食品的污染 一、汞对动物性食品的污染 二、铅对动物性食品的污染 三、镉对动物性食品的污染 四、砷对动物性食品的污染 第四节 有害化合物对动物性食品的污染 一、氟及其化合物对动物性食品的污染 二、N-亚硝基化合物对动物性食品的污染 三、多氯联苯对动物性食品的污染 四、多环芳烃对动物性食品的污染 五、杂环胺类化合物对动物性食品的污染 六、二噁英对动物性食品的污染 第五节 食品添加剂及其对动物性食品的污染 二、防腐剂 三、抗氧化剂 四、护色剂 五、着色剂 六、其他常用食品添加剂 第六节 食品包装材料的污染及控制 一、包装材料的分类及主要卫生问题 二、塑料制品 三、橡胶制品 四、金属和含金属制品 五、玻璃容器 六、食品包装用纸和复合包装材料 第七节 动物性食品化学性污染的控制措施 一、控制农药污染及残留 二、治理工业“三废”，加强环境监测 三、防止食品加工和流通过程中的污染 四、加强食品安全卫生监督管理工作