的先进制造技术》ppt，主要讲解21世纪的产品特点、21世纪制造企业的环境、现代集成制造技术的内容

组技术、数控加工技术及其应用、计算机辅助过程设计、柔性制造技术、独立制造岛、模具生产中的CAM技术简

山东大学信息科学与工程学院《集成电路制造技术》word电子教案。

技术、先进的制造技术、工程技术、控制技术、生物技术和现代农业科技的发展和综合运用，21世纪的工程技术

、汽车制造、造船、机械制造、电子/电器、消费品行业，它的集成解决方案覆盖所有的产品设计与制造领域，

第一章 绪论、第二章 成组技术、第三章 数控加工技术及其应用、第四章 计算机辅助过程设计、第五章 柔性制造技术、第六章 独立制造岛、第七章 模具生产中的CAM技术简介、第八章 敏捷制造环境下线切割CAD/CAM

21世纪的先进制造技术 1、21世纪的产品特点 2、21世纪制造企业的环境 3、现代集成制造技术

绪论部分教学内容的重点：了解半导体工业的形成及发展历史；了解半导体工业由半导体技术阶段过渡到微电子技术阶段的技术特征；掌握微电子时代的技术特征和当代微电子产业的技术水平。该部分教学内容的难点：当代微电子技术产业发展的内在驱动因素及各因素间的技术链作用

通过本章的学习，将能够： 1. 辨别出模拟和数字、有源和无源器件的不同。说明在无源器件中寄生结构的影响； 2. 对PN结进行描述，讨论其重要性，并解释其反向偏压和正向偏压的不同； 3. 描述双极技术特征和双极晶体管的功能，偏压、结构及应用； 4. 描述 CMOS 技术的基本特征，包括场效应晶体管、偏压现象以及CMOS反相器 5. 描述 MOSFET 增强型和耗尽型之间的区别； 6. 描述寄生晶体管的影响和 CMOS 闩锁效应的本质； 7. 列举一些集成电路产品，描述其各自的一些应用

Chapter 1 导论 Chapter 2 集成电路工艺介绍 Chapter 3 半导体基础 Chapter4 晶圆制造 Chapter 5 加热工艺 Chapter 6 光刻工艺 Chapter 7 等离子体的基础 Chapter 8 离子注入 Chapter 9 蚀刻 Chapter 11 金属化工艺