HALO结构：与逆向掺杂从纵向处理沟道区域不同， ALO结构是仅在源和漏附近增加沟道掺杂的浓度，也能 起到相似的效果。 Gate栅极) Source(源) Drain(漏) 多晶硅栅电极 N+ N+ HALO P衬底 NMOS管+HALO• HALO结构： 与逆向掺杂从纵向处理沟道区域不同， HALO结构是仅在源和漏附近增加沟道掺杂的浓度，也能 起到相似的效果