尺寸缩小所面临的困难 (1)短沟道效应引起亚阈特性的变坏和阈值电压 随沟道长度的难以接受的变化； (2)栅氧厚度T。x的最低限度： (3)热载流子效应的限制； (4)阈值电压Vh和漏极电压在考虑噪声不敏感容限 时的最低限制； (⑤)使寄生效应如源漏串联电阻等最小：• (1) 短沟道效应引起亚阈特性的变坏和阈值电压 随沟道长度的难以接受的变化； • (2)栅氧厚度Tox的最低限度； • (3)热载流子效应的限制； • (4)阈值电压Vth和漏极电压在考虑噪声不敏感容限 时的最低限制； • (5)使寄生效应如源漏串联电阻等最小；