中国科学技术太学物理系微电子专业 MOSFET的按比例缩小 近20年来,恒压按比例缩小规则的使用比较成功, 但随着工艺的发展,器件性能和集成密度进一步 提高,目前逐渐逼近其基本的物理极限。 如果要进一步提高集成电路的性能,则需要考虑 更多的因素,而不仅仅是简单的按比例缩小器件 尺寸。需要同时在降低电源电压、提高器件性能 和提髙器件可靠性等三个方面之间进行折衷选择 金属栅和高K栅介质的应用 Semiconductor Devices 2021/2/8中国科学技术大学物理系微电子专业 2021/2/8 3 Semiconductor Devices 一、MOSFET的按比例缩小 • 近20年来，恒压按比例缩小规则的使用比较成功， 但随着工艺的发展，器件性能和集成密度进一步 提高，目前逐渐逼近其基本的物理极限。 • 如果要进一步提高集成电路的性能，则需要考虑 更多的因素，而不仅仅是简单的按比例缩小器件 尺寸。需要同时在降低电源电压、提高器件性能 和提高器件可靠性等三个方面之间进行折衷选择。 • 金属栅和高K栅介质的应用