SiO2 a. 衬底准备抗蚀剂 b.涂胶 c.前烘 ↓↓ ↓↓↓ 掩膜_中国高校课件下载中心

点击下载：电子科技大学：《集成电子学 Integrated Electronics》课程教学资源（课件讲稿）第二章缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战

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SiO2 a. 衬底准备抗蚀剂 b.涂胶 c.前烘 ↓↓ ↓↓↓ 掩膜版 d.曝光發 e. g.腐蚀 h.去胶

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