点击下载:电子科技大学:《集成电子学 Integrated Electronics》课程教学资源(课件讲稿)第二章 缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战
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IMMERSION SETUP Projection optics Liqaid Liquid recovery supply Wafer Waler stage Immersion liquid Scanning motion 用于浸入式光刻的喷淋系统,它从晶片一侧喷淋液体,然 后从另一侧将液体吸走。(资料来源:Nikon)
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点击下载:电子科技大学:《集成电子学 Integrated Electronics》课程教学资源(课件讲稿)第二章 缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战
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