§3.1集成电路工艺层 互连线的电阻和电容 1互连线电阻 Conductivity o Cross-sectional area A WK- Figure 3.5 Geometry of a conducting line Rime =Rs x W ,- ot R:薄层电阻，方块电阻 2018-9-5 第3章CMOS集成电路的物理结构 §3.1集成电路工艺层 互连线电阻计算 X 1 square (a)Top-view geometry Y w-W-w----- Every resistor has a value of Rs Fraction of Rs (b)Sheet resistance contributions Figure 3.6 Top-view geometry of a patterned line Riine-RsXn (n=l/w方块数) 2018-9-5 第3章CMOS集成电路的物理结构 62018-9-5 第3章 CMOS集成电路的物理结构 5 §3.1 集成电路工艺层 互连线的电阻和电容 1 互连线电阻 w l Rline = RS × RS ：薄层电阻，方块电阻 t RS σ 1 = 2018-9-5 第3章 CMOS集成电路的物理结构 6 §3.1 集成电路工艺层 互连线电阻计算 Rline=RS×n (n=l / w 方块数)